第一階段：

早期燃燒技術(shù)的特點是在穩(wěn)定燃燒的前提下提高燃料的燃盡率，對NOX的生成和危害認識程度則不高。

第二階段：

隨著燃燒控制技術(shù)工業(yè)化水平的提高以及環(huán)保部門對NOX控制要求的提出，工業(yè)界開始認識到采用冷卻火焰面溫度的方法可有效降低NOX的生成。在這一階段以分級燃燒為代表的低氮燃燒技術(shù)開始了大規(guī)模的應(yīng)用，很好地應(yīng)對了當時的NOX排放標準。由于分級燃燒不僅可以有效降低NOX生成，CO的排放水平也較低，因此該項技術(shù)直今在歐洲、中國、日本、南美仍被廣泛使用。但是，分級燃燒對NOX生成量的控制水平差異較大，以EN676為例，根據(jù)燃燒技術(shù)裝備水平的不同，NOX排放可分為三級：170mg/m3、120mg/m3和80mg/m3，分別適用于不同的排放標準。

第三階段：

迫于環(huán)境空氣質(zhì)量改善的壓力，美國南加州最先將NOX的排放標準提高至60mg/m3，燃燒器工業(yè)界開始采用煙氣再循環(huán)（FGR）對在用的燃燒器進行改造，這時經(jīng)典的分級燃燒和煙氣再循環(huán)組合技術(shù)開始得到廣泛應(yīng)用，并在一段時間內(nèi)解決了NOX標準加嚴的問題。

第四階段：

2003年南加州再次發(fā)布了調(diào)高燃氣NOX排放標準的計劃，工業(yè)界初期的解決方案普遍采用貧燃預(yù)混燃燒控制思路，即通過鼓入大量的過剩空氣來降低火焰區(qū)溫度，以實現(xiàn)NOX超低排放。但隨著能源價格的上漲，排煙熱損失大的問題逐漸凸顯，致使燃燒器工業(yè)界不得不繼續(xù)開發(fā)業(yè)主接受度高、兼顧NOX排放和能源效率的新技術(shù)。基于這種考慮，分級燃燒、FGR煙氣再循環(huán)、預(yù)混等基于某種低氮燃燒技術(shù)的技術(shù)耦合成為目前超低氮燃燒技術(shù)發(fā)展的大趨勢。